6RA26**系列直流伺服驱动系统的数控滚齿机，开机后发生“ERR21，X 轴测量系统错误”报警

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例 267．故障现象：某配套 SIEMENSPRIMOS 系统、6RA26**系列直流伺服驱动系统的数控滚齿机，开机后发生“ERR21，X 轴测量系统错误”报警。
分析与处理过程：故障分析过程同前例，但在本例中，利用示波器检查位置测量系统的前置放大器 EXE601/5-F 的 Ual 和 Ua2、*Ual 和*Ua2 输出波形，发现同样 Ual 无输出。进一步检查光栅输出(前置放大器 EXE601/5-F 的输入)信号波形，发现 Ie1，信号输入正确，确认故障是由于前置放大器EXE601/5-F 不良引起的。
根据 EXE601/5-F 的原理(详见后述)逐级测量前置放大器 EXE601/5-F 的信号，发现其中的一只LM339 集成电压比较器不良；更换后，机床恢复正常工作。